上海艾晟纳被确认为中国首台国产浸没式DUV芯片制造设备制造商

OmniTools 7月31日消息，据路透社报道，上海艾晟纳被确认为中国首台国产浸没式DUV芯片制造设备制造商。该公司计划2026年量产约5台、2027年约20台，设备将交付中芯国际、华虹集团、长鑫存储等晶圆厂。

该设备属当前成熟制程关键装备，可支持28nm及更先进节点的批量制造。另据AI Futures Project预测，上海艾晟纳首台可量产7nm光刻机预计于2038年完成。